本申请提供了一种晶圆清洗机的喷淋装置，属于晶圆清洗的技术领域，具体所述喷淋装置包括多套喷淋臂、升降组件、旋转组件和防护罩，所述防护罩的底部开口设置，升降组件和旋转组件驱动喷淋臂转动和升降，在一个喷淋臂进行喷淋工作时，其他喷淋臂在升降组件和旋转组件的控制下进入防护罩。通过本申请的处理方案，改善了正在喷淋的清洗液飞溅至其他喷淋臂上的问题，减少正在喷淋的喷淋臂上的从其他喷淋臂中喷出的清洗液的残留量；从而提高每个喷淋臂在喷淋过程中清洗腔室内的喷淋液的单一性，改善喷淋过程中其他种类的清洗液间断的落在晶圆上问题，改善二次污染的问题，减少清洗时间，提高清洗效率。