发明授权
- 专利标题: 烘烤设备盖盘及其控制方法
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申请号: CN202310822097.3申请日: 2023-07-06
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公开(公告)号: CN116558270B公开(公告)日: 2023-09-15
- 发明人: 魏猛 , 张爽 , 赵希晨
- 申请人: 芯达半导体设备(苏州)有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区创投工业坊26号
- 专利权人: 芯达半导体设备(苏州)有限公司
- 当前专利权人: 芯达半导体设备(苏州)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区创投工业坊26号
- 代理机构: 辽宁惟则知识产权代理事务所
- 代理商 李巨智
- 主分类号: F26B21/14
- IPC分类号: F26B21/14 ; F26B21/00 ; F26B25/06
摘要:
本发明涉及烘烤设备领域,且公开了烘烤设备盘盖及其控制方法,有效的解决了目前进入的气体扩散效果较差,使得烘烤效果不佳的问题,包括盖体,所述盖体的顶端安装有上盖板,上盖板的顶端安装有加热器,上盖板上安装有控制器,上盖板上安装有气体流通组件,气体流通组件包括安装于上盖板顶端安装盘盖分配块,盘盖分配块的底端贯穿至上盖板的下方,盘盖分配块的底端安装有下盖板,本发明,通过惰性气体进入储气槽内部后,被加热器进行加热,在圆形挡板与卡杆脱离卡接后,使得圆形挡板在气压作用下向下移动,使得储气槽与烘烤设备内部连通,由于进入烘烤设备内部的惰性气体温度较高,使得气体粒子活跃性较高,从而提高扩散效果。
公开/授权文献
- CN116558270A 烘烤设备盖盘及其控制方法 公开/授权日:2023-08-08
IPC分类: