基于微结构压电栅极的生物柔性压力传感器及制备工艺
摘要:
本发明公开了一种基于微结构压电栅极的生物柔性压力传感器及制备工艺,采用全薄膜式结构,每个功能层都是环境稳定性好,对人体无害,能够很好的和生物所兼容。同时,压敏传感器的有源层是聚吡咯薄膜,采用电化学合成法制备,吡咯原料成本低并且制备工艺简单,绿色环保,成本低廉。压电层是钛酸钡和聚二甲基硅氧烷的混合物薄膜,聚二甲基硅氧烷是最常用的柔性基底材料,价格比较低廉,钛酸钡是电子陶瓷中应用最广泛的材料,价格也很低。本发明可大规模集成具有高的空间分辨率。柔性压敏传感器的结构采用有机场效应结构,可实现规模化阵列结构的压敏传感电子皮肤等应用,具有较高的空间分辨率。
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