用于气浮主轴的气密封组件及超精密机床
摘要:
本发明涉及机床零件技术领域,提供一种用于气浮主轴的气密封组件及超精密机床,其中,用于气浮主轴的气密封组件包括第一环体、第二环体和紧固件,第一环体与第二环体均设有穿设空间,第一环体的端面与第二环体的端面贴合接触且通过紧固件可拆卸连接;第一环体设有进气道,第一环体面向第二环体的一面和/或第二环体面向第一环体的一面设有第一环槽和第二环槽,第二环槽位于第一环槽靠近穿设空间的一侧,进气道、第一环槽、第二环槽和穿设空间依次连通,第二环槽沿第一环体的轴线方向的尺寸小于第一环槽沿第一环体的轴线方向的尺寸、以在第一环体与第二环体之间形成节流狭缝。如此设置,解决了现有技术中的气密封件存在的加工难度大的问题。
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