发明公开
- 专利标题: 碲锌镉探测器的加工工艺
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申请号: CN202310362077.2申请日: 2023-04-03
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公开(公告)号: CN116587446A公开(公告)日: 2023-08-15
- 发明人: 张伟 , 朱同波 , 田强 , 许畅 , 邹洋洋 , 侯新宇 , 池树松
- 申请人: 安徽光智科技有限公司
- 申请人地址: 安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号
- 专利权人: 安徽光智科技有限公司
- 当前专利权人: 广东先导先进材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
- 代理机构: 北京五洲洋和知识产权代理事务所
- 代理商 张向琨
- 主分类号: B28D5/00
- IPC分类号: B28D5/00 ; B26F3/00 ; H01L31/18
摘要:
一种碲锌镉探测器的加工工艺包括步骤:S1,切片:将CZT晶棒定向切割出晶片;S2,确定单晶区域:将晶片表面腐蚀以使晶片显露出单晶区域,单晶区域中腐蚀后发亮的面是111(A)面而相反的背面是111(B)面;S3,标记单晶区域:用马克笔在111(A)面上画线标记显露出的单晶区域;S4,水射流切割:采用水射流切割从画线标记的晶片上切割单晶区域并取出单晶区域;S5,碲锌镉探测器尺寸规划并切割出方块:依据取出的单晶区域的面积大小,进行碲锌镉探测器尺寸规划,并基于规划的尺寸切割形成用于制作碲锌镉探测器的方块;S6,打标:采用激光在方块的侧面进行打标,打标的编码规则是晶片号‑加工日期‑个数,字体的正方向是111(A)面;S7,制作电极:在111(A)面和111(B)上制作电极。