一种加热传输装置及镀膜设备
摘要:
本发明涉及加热装置技术领域,具体涉及一种加热传输装置及镀膜设备。加热装置中的载板处于加热状态位时,通过加热面用于与载板面接触导热,实现对载板的热传导加热,由于加热板的加热面与载板接触面积较大,加热板与载板之间通过热传导的方式传递的热量较多,能够提高载板的升温速度。载板加热完成后,通过第二驱动机构驱动加热板摆动,改变加热板的状态,使加热板处于传输状态位,此时摩擦旋转驱动件能够与载板接触,在第一驱动机构的动力作用下,驱动载板运动,实现对载板的传输。综上分析,本申请的加热传输装置通过切换加热板的状态,实现对载板的加热和传输,由于通过加热板与载板面接触实现热传导传递热量,能够使载板较快升温。
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