一种声表面波器件横向杂波模式抑制结构及方法
摘要:
本发明公开了一种声表面波器件横向杂波模式抑制结构及方法,该结构包括汇流排、假指、间隙和指条组件,所述指条组件整体呈类鱼刺形结构。本发明通过对汇流排、假指、间隙、鱼刺形指条组件结构的优化,实现了有效抑制各阶次杂波模式寄生的同时,还可激发高Q值声波模式。由此,有利于实现声表面波器件的低损耗、通带高平坦度等性能,满足了高速移动通讯等终端对高性能表面波器件的要求,且该结构使用的制备工艺容易实现,易于大规模推广。
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