本申请提供一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，通过在压电层上刻蚀应力释放槽，从而释放压电层的内部应力，有效解决压电层内应力过大可能发生的开裂问题，并且在压电层沉积过程之后通过衬底转移的方式形成图案化电极，避免压电层的生长环境对电极造成的不利影响。同时，第一电极和支撑层利用应力释放槽，能够在其内形成位于有效谐振区域外侧的第一声反射结构，从而通过第一声反射结构能够从横向将声波反射回有效谐振区域内，从而提高器件的Q值。