本发明在海绵钛生产技术领域公开了一种降低海绵钛铁与氧的工艺，包括清理反应器，组装渗钛架，加入用于渗钛的海绵钛，组装反应器；组装好的反应器入蒸馏炉，将炉子温度升高至一定温度，之后对反应器进行烘炉；将蒸馏炉升温至指定温度；恒温后迅速对蒸馏炉升温，同时进行抽空，进行第一次渗钛；出炉冷却、拆卸反应器取出渗钛装置。组装反应器，入还原炉抽空后检漏，充氩。加入少量的液镁组装反应器，升温，加入少量四氯化钛进行二次渗钛。还原、蒸馏、破碎得到海绵钛。该发明中的工艺流程可以除去反应器、大盖在清理后表面吸附的水以及渗钛所用钛表面吸附的水，避免氧、氢对渗钛过程的影响。