发明公开
- 专利标题: IGBT器件的制作方法及IGBT器件
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申请号: CN202310425489.6申请日: 2023-04-19
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公开(公告)号: CN116721918A公开(公告)日: 2023-09-08
- 发明人: 颜天才 , 钟育腾 , 吕昆谚 , 黄任生 , 杨列勇 , 陈为玉
- 申请人: 物元半导体技术(青岛)有限公司
- 申请人地址: 山东省青岛市城阳区棘洪滩街道锦盛二路金岭片区社区中心430室
- 专利权人: 物元半导体技术(青岛)有限公司
- 当前专利权人: 物元半导体技术(青岛)有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市城阳区棘洪滩街道锦盛二路金岭片区社区中心430室
- 代理机构: 青岛清泰联信知识产权代理有限公司
- 代理商 魏炜
- 主分类号: H01L21/331
- IPC分类号: H01L21/331 ; H01L29/06 ; H01L29/08 ; H01L29/739 ; H01L23/34 ; H01L21/60
摘要:
本发明提出一种IGBT器件的制作方法及IGBT器件,制作方法包括:提供一第一硅片和第二硅片;在第一硅片正面制作MOSFET(IGBT正面工艺)、沉积层间介质层、第一金属层以及第一硬掩膜;在第二硅片正面沉积第二硬掩膜,将第一硅片正面与第二硅片正面键合。本申请提供的IGBT器件的制作方法,在第一硅片和第二硅片形成键合之后进行第一硅片的背面工艺,此时的第一硅片不再是薄片,IGBT器件可以做到更薄。更薄的IGBT器件可以有效的解决大功率器件的散热问题;同时,在第一硅片背面进行的场终止FS区、集电极P型区制作工艺的稳定性更高。
IPC分类: