本申请提供了一种多晶硅生产设备故障诊断方法、装置、服务器及存储介质，涉及设备故障诊断领域，方法包括：获取目标设备在预设时间窗内采集到的待分析样本数据和第一历史样本数据；并确定由设备参数构成的第一集合以及由设备参数及其对应的上下游工艺参数整体构成的第二集合；进一步根据设备均值向量和设备协方差矩阵，确定设备参数的第一稳健距离；根据整体均值向量和整体协方差矩阵，确定设备参数及其对应的上下工艺参数整体的第二稳健距离；若第一稳健距离大于第一稳健距离阈值和/或第二稳健距离大于第二稳健距离阈值，确定运行状态为异常状态。保证了诊断的全面性以及诊断结果的准确性，保证了诊断时的基准的稳定性，提高了诊断效率。