一种外表面电弧离子镀的制备装置及方法
摘要:
一种外表面电弧离子镀的制备装置及方法,通过行星齿轮结构工件转台设计,使行星齿轮能够进行自转和公转运动,同时带动多台推力室身部进行自转与公转运动;通过与推力室身部外形相匹配的靶材结构设计,使靶材型面与推力室身部外型面的水平距离保持一致;通过弧斑在靶材上做上下螺旋运动,推力室身部自转与公转运动以及靶材型面与推力室身部外型面相匹配,最终实现推力室身部外表面涂层均匀性的改善和涂层制备效率的提高。本发明使推力室身部外表面超高温防护涂层的厚度均匀性有了显著提升,生产效率有了大幅度提高。
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