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公开(公告)号：CN116791042A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310552390.2
申请日：2023-05-16
申请人： 航天材料及工艺研究所
摘要： 一种外表面电弧离子镀的制备装置及方法，通过行星齿轮结构工件转台设计，使行星齿轮能够进行自转和公转运动，同时带动多台推力室身部进行自转与公转运动；通过与推力室身部外形相匹配的靶材结构设计，使靶材型面与推力室身部外型面的水平距离保持一致；通过弧斑在靶材上做上下螺旋运动，推力室身部自转与公转运动以及靶材型面与推力室身部外型面相匹配，最终实现推力室身部外表面涂层均匀性的改善和涂层制备效率的提高。本发明使推力室身部外表面超高温防护涂层的厚度均匀性有了显著提升，生产效率有了大幅度提高。
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公开(公告)号：CN116875944A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310697420.9
申请日：2023-06-13
申请人： 航天材料及工艺研究所
IPC分类号： C23C14/32
摘要： 本发明公开了一种多弧源阴极电弧离子镀装置，包括电磁屏蔽装置、金属离子阻断回收装置、分区隔离机构和机械手；电磁屏蔽装置包括第一金属板；金属离子阻断回收装置包括第二金属板；分区隔离机构包括隔板，隔板将真空腔室分隔为待工作区和工作区；机械手安装于真空腔室上方；导磁管下端外侧绕设通电线圈，导磁管上端伸入真空腔室的工作区并连接于靶材内部，导磁管上述两部分之间分别利用第一、二金属板隔离；炼靶时，待镀产品存放于待工作区，炼靶结束后，机械手将待镀产品转移至工作区中的靶材上方。本发明还公开了一种基于上述装置实现的多弧源阴极电弧离子镀方法。本发明提高了沉积效率和沉积稳定性，实现了多台产品同时沉积的技术效果。
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公开(公告)号：CN116240503A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310131112.X
申请日：2023-02-17
申请人： 航天材料及工艺研究所
摘要： 本发明针对铌钨合金发动机，提供了一种新型电弧离子镀设备冷却方法。通过对真空阴极电弧沉积设备的炉腔中的冷却系统进行改近，解决铌钨合金发动机燃烧室内外表面涂层冷却速度缓慢的问题。采用真空阴极电弧沉积技术在工件表面镀钼完成后，优化冷却系统，使得沉积设备内部真空度维持在动态平衡中，通过增强燃烧室内外表面钼层的对流效果实现降低身部钼层冷却时间的目的。本发明首次实现了在燃烧室的内外表面结束镀钼后进行降温的过程中采用水冷系统与气冷系统相结合的方式，提高了姿轨控发动机的生产效率。
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公开(公告)号：CN112921293A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110138868.8
申请日：2021-02-01
申请人： 航天材料及工艺研究所
摘要： 本发明针对一种发动机推力室身部，提供了一种内外表面高硅硅化钼复合梯度涂层的制备方法。通过与发动机推力室身部相匹配的钼靶材内外型面的结构设计，电磁场产生装置的工艺参数设计，实现内外表面钼合金层均匀高效可控沉积。通过与发动机推力室型面特征相匹配的包渗工艺参数设计，实现内外表面高硅硅化钼复合梯度涂层的可控制备。通过与发动机推力室身部服役特点相匹配的高硅硅化钼涂层硅化程度的定量分析，高硅硅化钼涂层的结构组成分析，实现高硅硅化钼涂层的可靠评价。
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公开(公告)号：CN116904937A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310552693.4
申请日：2023-05-16
申请人： 航天材料及工艺研究所
摘要： 本发明公开了一种新型内表面电弧离子镀的制备方法。能够根据靶材圆锥角、靶材高度自动调节磁场电流频率、磁场最大电流，实现弧斑在靶材上的匀速螺旋运动；通过阴极弧源运动装置设计，实现阴极弧源的螺旋运动；通过工件旋转运动装置设计，实现工件的旋转可控运动。本发明有助于提高钼、铱等超高温防护涂层的服役稳定性和可靠性，有利于推动空间飞行器的发展和进步。
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