- 专利标题： 一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用
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申请号： CN202310721027.9申请日： 2023-06-15
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公开(公告)号： CN116814167A公开(公告)日： 2023-09-29
- 发明人: 张振宇 , 刘璐 , 周红秀 , 孟凡宁 , 石春景 , 冯俊元 , 余家欣 , 文伟 , 王伟
- 申请人： 大连理工大学 , 杭州电子科技大学 , 西南科技大学 , 海南大学 , 中建三局集团有限公司 , 中建三局集团(海南)有限公司
- 申请人地址： 辽宁省大连市高新园区凌工路2号; ; ; ; ;
- 专利权人： 大连理工大学,杭州电子科技大学,西南科技大学,海南大学,中建三局集团有限公司,中建三局集团(海南)有限公司
- 当前专利权人： 大连理工大学,杭州电子科技大学,西南科技大学,海南大学,中建三局集团有限公司,中建三局集团(海南)有限公司
- 当前专利权人地址： 辽宁省大连市高新园区凌工路2号; ; ; ; ;
- 代理机构： 大连东方专利代理有限责任公司
- 代理商 周莹; 李馨
- 主分类号： C09G1/02
- IPC分类号： C09G1/02 ; B24B37/04
摘要：
本发明涉及一种化学机械抛光液，具体是一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用。本发明抛光液包括二氧化铈、海藻酸钠和蚕丝溶液，抛光液包括0.005wt％～0.05wt％二氧化铈、0.0005wt％～0.04wt％海藻酸钠、0.005wt％～0.05wt％蚕丝溶液，其余为水。本发明抛光液的成分来源于天然产物，绿色环保，抛光液制备简单，分散性好，抛光效率(MRR)高达28.222μm/h，同时极大的降低了表面粗糙度(Sa)，Sa值为0.098nm，抛光后的表面光滑平整，无缺陷。
