一种马赫曾德尔干涉仪工作点监测器
摘要:
本发明公开了一种马赫曾德尔干涉仪工作点监测器,属于集成光器件技术领域,监测器自下而上依次包括:埋氧层、铌酸锂平板区域及器件区;所述器件区包括马赫曾德尔干涉仪及两个监测光栅;所述马赫曾德尔干涉仪包括波导、光分束结构和1×2型多模干涉器;所述光分束结构的两个输出端与所述1×2型多模干涉器的两个输入端之间分别通过所述波导连接,所述光分束结构的输入端和所述1×2型多模干涉器的输出端分别连有所述波导;所述两个监测光栅分别位于所述1×2型多模干涉器输出端所连波导的两侧。本发明的工作点监测器具有较大的工艺容差和光学带宽,不影响马赫曾德尔干涉仪本身的输出,同时能够实现片上集成。
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