发明公开
- 专利标题: 一种马赫曾德尔干涉仪工作点监测器
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申请号: CN202310556929.1申请日: 2023-05-17
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公开(公告)号: CN116858087A公开(公告)日: 2023-10-10
- 发明人: 曾成 , 瞿智成 , 夏金松
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李晓飞
- 主分类号: G01B9/02055
- IPC分类号: G01B9/02055
摘要:
本发明公开了一种马赫曾德尔干涉仪工作点监测器,属于集成光器件技术领域,监测器自下而上依次包括:埋氧层、铌酸锂平板区域及器件区;所述器件区包括马赫曾德尔干涉仪及两个监测光栅;所述马赫曾德尔干涉仪包括波导、光分束结构和1×2型多模干涉器;所述光分束结构的两个输出端与所述1×2型多模干涉器的两个输入端之间分别通过所述波导连接,所述光分束结构的输入端和所述1×2型多模干涉器的输出端分别连有所述波导;所述两个监测光栅分别位于所述1×2型多模干涉器输出端所连波导的两侧。本发明的工作点监测器具有较大的工艺容差和光学带宽,不影响马赫曾德尔干涉仪本身的输出,同时能够实现片上集成。