公开(公告)号：CN113678054B

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202080025783.2

申请日：2020-01-27

申请人： 通用医疗公司

发明人： G·J·蒂尔尼 ,  J·柳

IPC分类号： G02B27/48 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02055 ,  G01N21/17 ,  G01N21/47 ,  G02B23/24 ,  G02B26/10

公开(公告)号：CN118816706A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202411300902.7

申请日：2024-09-18

申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明人： 梁旭 ,  潜辛格 ,  李文昊 ,  刘兆武 ,  滕海瑞

IPC分类号： G01B9/02055 ,  G01B11/02

摘要： 本发明涉及位移测量技术领域，尤其涉及一种标校光栅干涉仪测量光栅余弦误差的装置及方法，装置中标尺光栅的放置方向与位移台的移动方向存在余弦误差角；分光系统发出两束激光，标尺光栅对其中一束激光进行衍射产生零级衍射光，并将零级衍射光入射进分光系统中；反射部件将另一束激光反射进分光系统中；分光系统对零级衍射光和第二激光进行干涉得到干涉信号，核心处理系统根据干涉信号得到余弦误差角；测量方法则是通过解算标尺光栅的相移，进而获得标尺光栅产生干涉的位移和沿零级衍射光方向的位移，配合两个位移之间的三角函数关系，可计算余弦误差角并补偿其引入的测量误差。

公开(公告)号：CN118533069A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410612459.0

申请日：2024-05-17

申请人： 中国计量科学研究院

发明人： 刘洋 ,  赫明钊 ,  李建双 ,  缪东晶 ,  朱佳祥 ,  许添松

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01M11/00 ,  G01B9/02055

摘要： 本发明公开了高精度标定光频扫描干涉测距参考光程的方法，同步采集气体吸收池信号、光梳与调谐光源拍频信号和辅助干涉仪拍频信号；通过对气体吸收池信号进行滤波与高斯拟合求峰值点，截取待处理的光频扫描干涉信号；通过气体吸收池信号的峰值点索引值同步截取光梳拍频信号和辅助干涉仪拍频信号；通过光梳拍频信号确定调谐光源的频率序列，进而构建与辅助干涉仪拍频信号相位的一一对应关系；在通过将相位序列和频率序列通过最小二乘法拟合得到斜率，即可实现高精度标定辅助干涉仪参考光程。

公开(公告)号：CN118511051A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202280086637.X

申请日：2022-12-05

申请人： AMS国际有限公司

发明人： 戈兰·斯托扬诺维奇 ,  朱利安·格罗斯 ,  尼古拉·多尔德维奇 ,  洛朗·尼沃 ,  费伦·苏亚雷斯

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B9/02055

摘要： 一种用于校准自混合干涉仪的方法，包括提供包括激光二极管(104)的自混合干涉仪。发射激光光线并接收发射的激光光线的反射部分以调制激光二极管的光功率。激光光线的相位被锁定到传递函数的至少一个条纹以获得运行点。生成询问信号(Io(t))以改变激光光线的波长，从而获得指示运行点偏移期望运行点的响应信号(Is(t))。取决于响应信号生成补偿信号(Ic(t))以获得校准的运行点。

公开(公告)号：CN118451372A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202280085295.X

申请日：2022-12-06

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： H·巴特勒 ,  R·J·M·德琼

IPC分类号： G03F7/20 ,  G01B9/02055

摘要： 本发明提供了一种减少具有投影阶段和空闲阶段的光刻过程中的循环误差效应的方法，所述方法包括：在第一控制回路中控制第一模块的第一位置，所述第一模块是投影系统的位置受控的反射镜，所述第一控制回路具有第一带宽并且包括具有第一循环误差的第一位置测量系统，其中控制所述第一位置包括至少在所述投影阶段期间连续地移动所述第一模块，使得所述第一循环误差的第一主频率将高于所述第一控制回路的所述第一带宽。

公开(公告)号：CN118347421A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202410359468.3

申请日：2024-03-27

申请人： 北京卫星制造厂有限公司

发明人： 周勇 ,  刘丽霞 ,  钟俊杰 ,  薛文娟 ,  牛海瑞 ,  唐嘉瑞 ,  李熙亮

IPC分类号： G01B11/16 ,  G01B9/02055

摘要： 本发明一种激光数字散斑干涉仪在线检测精度判定方法及装置，包括以下步骤：制做微变形发生装置；创建上述微变形发生装置的运动参数表；启动激光数字散斑干涉仪开始工作；读取试验环境温度t，从微变形发生装置运动参数表中查询温度为t，产生n倍波长的变形量时的电压信号量v。激光数字散斑干涉仪重采基准图，启动微变形发生装置，输入电压信号量v，使微变形发生装置面板出现微变形。用激光数字散斑干涉仪实时测量上述微变形发生装置，记录激光数字散斑干涉仪上散斑差图中的条纹数，记为m条。当|m‑n| ＝1时，激光数字散斑干涉仪在线检测精度异常时，试验环境出现故障，中断试验。

公开(公告)号：CN118293788A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202410008999.8

申请日：2024-01-03

申请人： 株式会社三丰

发明人： 高井利久 ,  田村谦太郎 ,  上岛泰

IPC分类号： G01B11/00 ,  G01B11/14 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02055

摘要： 一种非接触式探头10，包括：用点状激光束扫描测量目标对象的光照射部20；图像捕获部30，其通过使用从包括多个像素列的光接收表面选择的多个像素列来捕获由测量目标对象反射的激光束的图像，并生成捕获图像；位置感测部41，其感测激光束在捕获图像上的图像形成位置；以及像素列改变部42，其选择不同的多个像素列，使得图像形成位置包括在所选择的多个像素列中。

公开(公告)号：CN118119820A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202280070165.9

申请日：2022-09-23

申请人： 通快激光有限责任公司

发明人： S·布劳恩 ,  J-P·埃尔马尼 ,  M·施坦布克

IPC分类号： G01B9/02055 ,  G01B9/02091 ,  B23K26/03

摘要： 本发明涉及一种用于设定OCT系统的参考路段的方法和系统。本发明的任务在于，提供一种采用光学相干断层扫描(OCT)的方法和一种提供更好测量结果的OCT系统。为此目的，提出一种用于设定参考路段的OCT系统，其中OCT系统被构造为用于：将测量射束施加到测量对象上；将参考射束引导通过参考路段并且使被反射的测量射束和参考射束叠加，该OCT系统具有：用于检测测量射束与所叠加的参考射束之间的干涉信号的干涉仪；测量射束的扫描路径的测量阶段和调节阶段；以及评估装置，该评估装置被构造为用于仅在调节阶段中设定参考路段。

公开(公告)号：CN117848396A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202311727024.2

申请日：2023-12-15

申请人： 天津理工大学

发明人： 王雪 ,  崔旭阳 ,  童峥嵘

IPC分类号： G01D5/353 ,  G01D18/00 ,  G01B9/0209 ,  G01B9/02055

摘要： 本发明公开了一种基于空间频率和相位双参数补偿的低相干干涉解调方法，涉及光纤传感技术领域，首先对采集的低相干干涉信号进行离散傅里叶变换，得到干涉条纹空间频率和相位信息的同时滤除背景噪声；然后利用空间频率和相位双参量补偿算法对空间频率和空间相位进行校正，使得空间频率和相位恢复线性关系；从校正后的空间频率和相位线性关系中得到法珀腔腔长相位信息，以实现低相干干涉解调的色散补偿；本发明不仅考虑到色散效应对干涉条纹空间频率的影响，而且首次对色散效应导致的低相干干涉条纹空间相位变化进行补偿，彻底校正色散效应引起的干涉条纹畸变，进一步提高解调精度。

公开(公告)号：CN117704960A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202311740224.1

申请日：2023-12-18

申请人： 中国人民解放军国防科技大学

发明人： 王国超 ,  杨俊 ,  李星辉 ,  颜树华

IPC分类号： G01B9/02004 ,  G01B9/02055 ,  G01B9/02056

摘要： 本发明提出一种准共光程外差光栅干涉仪及其死区光程评估、标校方法，包括双频激光产生单元、第一激光传输光路、第二激光传输光路、第一光电探测器、第二光电探测器：双频激光产生单元用于输出频率为f0+f1的第一激光和频率为f0+f2的第二激光；第一激光、第二激光分别经第一激光传输光路、第二激光传输光路投射到反射光栅的同一位置上；在独立外差激光输入的基础上，采用对称斜入射结构实现第一激光传输光路、第二激光传输光路准共光程设计，融合准共光程和空间分离外差结构的优点，并在亚纳米水平上评估了死区光程对位移测量的影响。进一步使本发明在保持高分辨率、可重复性和长期稳定性的同时，将周期性非线性误差降至亚纳米以下。