基于铌酸锂的集成环形布拉格金属光栅耦合器及制备方法
摘要:
本发明公开了一种基于铌酸锂的集成环形布拉格金属光栅耦合器及制备方法,包括衬底层、铌酸锂限制层、铌酸锂波导层、环形布拉格金属光栅层以及光纤;所述铌酸锂限制层设置于衬底层表面;所述铌酸锂波导层设置于铌酸锂限制层表面,且包括输入直波导、锥形波导、耦合波导,其中,输入直波导的一端与锥形波导的窄端等宽度相连,锥形波导的宽端与耦合波导的一端等宽度相连;所述环形布拉格金属光栅层设置于耦合波导上;所述光纤位于环形布拉格金属光栅层上方,不与环形布拉格金属光栅层直接接触。本发明通过制作工艺简单,流程独立且耦合效率高,在制备量产和成本优化等方面具有独特的优势,可广泛应用于铌酸锂片上集成器件和系统中。
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