- 专利标题： 一种激光掺杂方法及TOPCon太阳能电池
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申请号： CN202311150516.X申请日： 2023-09-07
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公开(公告)号： CN116885049B公开(公告)日： 2023-11-28
- 发明人: 李志刚 , 陆红艳 , 蒋一鸣 , 张强 , 梁乔春 , 朱凡
- 申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区九龙湖街88号
- 专利权人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司
- 当前专利权人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区九龙湖街88号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 林哲生
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L31/068 ; H01L31/0288
摘要：
本发明提供了一种激光掺杂方法及TOPCon太阳能电池，激光掺杂方法包括控制激光参数，利用激光对所述硅衬底表面的预设区域进行选择性激光掺杂。通过调节激光参数对温度场进行控制，在不破坏硅衬底表面微结构的前提下进行硼扩散，既可对杂质扩散曲线进行控制，又可通过改变激光参数提升产率，同时满足工艺性能和产率的需求。
公开/授权文献
- CN116885049A 一种激光掺杂方法及TOPCon太阳能电池 公开/授权日：2023-10-13
IPC分类:
