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公开(公告)号：CN116632078A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202210127597.0
申请日：2022-02-11
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司 , 帝尔激光科技(无锡)有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/0216
摘要： 本申请提出一种太阳能电池及其电极的制备方法，太阳能电池电极的制备方法包括：将保持有种子层材料的源基板设置在半成品太阳能电池片上方，其中，源基板保持有种子层材料的一面朝向半成品太阳能电池片；采用激光束从源基板另一面照射，使种子层材料从源基板上释放并转移至半成品太阳能电池片的预设电极图案位置，在预设电极图案位置处形成种子层；在种子层上制备上层电极层，完成电极制备。通过激光转印技术，将设置在源基板上的种子层材料转印到半成品太阳能电池片上，可形成附着力高，线宽更窄厚度更薄的图形化种子层，进一步提高光伏电池的转换效率及可靠性，同时降低金属电极制作成本。
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公开(公告)号：CN116621463B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202211043073.X
申请日：2022-08-29
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司 , 帝尔激光科技(无锡)有限公司
摘要： 本申请提供一种孔结构形成方法，利用激光束照射待加工器件，以在待加工器件中形成从待加工器件的第一侧完全贯穿或部分贯穿待加工器件的第一改质线，以及从第一侧部分贯穿待加工器件的多个第二改质线，多个第二改质线在第一侧表面内沿第一预设轨迹分布，且包围第一改质线，第一改质线的深度大于第二改质线的深度，将待加工器件置于腐蚀液中进行腐蚀加工，腐蚀液对第一改质线和第二改质线的腐蚀速度大于对待加工器件的其他位置的腐蚀速度，则可以得到以第一改质线为中心的微孔，得到沿第一预设轨迹且部分贯穿待加工器件的第一盲孔，第一盲孔的孔径大于微孔的孔径且包围该微孔，使不同孔径的微孔和盲孔同时形成，简化工艺流程。
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公开(公告)号：CN116477850B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202210039124.5
申请日：2022-01-13
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司 , 帝尔激光科技(无锡)有限公司
摘要： 本申请公开了一种沟槽加工方法，该方法包括：提供一激光束，根据拟加工沟槽在深度方向的槽宽分布调整激光束的聚焦线的焦深长度和/或焦点位置，使其在待加工器件内部形成的聚焦线具有与槽宽分布对应的能量分布；通过激光束对待加工器件的内部进行改质，形成与拟加工沟槽对应的改质区；改质区包括沿拟加工沟槽长度方向分布的多个间隔设置的改质线，每条改质线在深度方向上的改性程度与槽宽正相关；将改质后的待加工器件置于腐蚀液中，对改质区进行刻蚀形成槽体；本发明通过设置不同激光参数及改性条件，可得到U型槽、矩形槽、梯形槽等不同槽型，所加工的沟槽底部平滑，尺寸可控且加工制作成本较低，满足不同产品的加工需求。
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公开(公告)号：CN116618821A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202210535428.0
申请日：2022-05-17
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司 , 帝尔激光科技(无锡)有限公司
IPC分类号： B23K26/00 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本申请提供一种利用激光束对膜改性及实现图形化的方法及其应用，包括采用激光束照射硅衬底表面的膜层，对其进行图形化改性处理，使其加工区与非加工区形成腐蚀速率差。对硅衬底表面改性后的膜层进行腐蚀处理，激光加工区域因膜层改性，腐蚀速率会比非加工区域更快，非加工区作为腐蚀的阻挡层，进而形成图形化结构；或，加工区腐蚀速率变慢，加工区作腐蚀阻挡层，进而形成图形化结构。通过激光进行微加工处理，改变膜层的性状，破坏局部晶体点阵，形成更多的缺陷等，使加工区域变为易腐蚀区或难腐区，从而达到腐蚀的效果。
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公开(公告)号：CN116618821B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202210535428.0
申请日：2022-05-17
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司 , 帝尔激光科技(无锡)有限公司
IPC分类号： B23K26/00 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本申请提供一种利用激光束对膜改性及实现图形化的方法及其应用，包括采用激光束照射硅衬底表面的膜层，对其进行图形化改性处理，使其加工区与非加工区形成腐蚀速率差。对硅衬底表面改性后的膜层进行腐蚀处理，激光加工区域因膜层改性，腐蚀速率会比非加工区域更快，非加工区作为腐蚀的阻挡层，进而形成图形化结构；或，加工区腐蚀速率变慢，加工区作腐蚀阻挡层，进而形成图形化结构。通过激光进行微加工处理，改变膜层的性状，破坏局部晶体点阵，形成更多的缺陷等，使加工区域变为易腐蚀区或难腐区，从而达到腐蚀的效果。
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公开(公告)号：CN116885049A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202311150516.X
申请日：2023-09-07
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/068 , H01L31/0288
摘要： 本发明提供了一种激光掺杂方法及TOPCon太阳能电池，激光掺杂方法包括控制激光参数，利用激光对所述硅衬底表面的预设区域进行选择性激光掺杂。通过调节激光参数对温度场进行控制，在不破坏硅衬底表面微结构的前提下进行硼扩散，既可对杂质扩散曲线进行控制，又可通过改变激光参数提升产率，同时满足工艺性能和产率的需求。
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公开(公告)号：CN115156698A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202111643750.7
申请日：2021-12-29
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司 , 帝尔激光科技(无锡)有限公司
IPC分类号： B23K26/064 , B23K26/067
摘要： 本发明提供一种激光分束加工设备，涉及激光加工技术领域。激光分束加工设备包括激光器、衍射分束器和f‑sinθ聚焦透镜组；衍射分束器接受激光器发射的激光光束，并分成多束子光束；f‑sinθ聚焦透镜组接受多束子光束，对子光束进行聚焦，并控制子光束在焦平面上的位置；衍射分束器输出的各级子光束满足布拉格方程：2dsinθ＝mλ，f‑sinθ聚焦透镜组满足成像关系：h＝f*sinθ，d为分束器周期常数，θ为入射光束角度，m为衍射光束级次，λ为激光波长，h为聚焦光斑位置；f为f‑sinθ聚焦透镜组的焦距。该设备在配合电机进行加工的过程，实现精密多光束加工，保持各个子光束聚焦光斑之间的距离具有很好的精度。
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公开(公告)号：CN116632078B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202210127597.0
申请日：2022-02-11
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司 , 帝尔激光科技(无锡)有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/0216
摘要： 本申请提出一种太阳能电池及其电极的制备方法，太阳能电池电极的制备方法包括：将保持有种子层材料的源基板设置在半成品太阳能电池片上方，其中，源基板保持有种子层材料的一面朝向半成品太阳能电池片；采用激光束从源基板另一面照射，使种子层材料从源基板上释放并转移至半成品太阳能电池片的预设电极图案位置，在预设电极图案位置处形成种子层；在种子层上制备上层电极层，完成电极制备。通过激光转印技术，将设置在源基板上的种子层材料转印到半成品太阳能电池片上，可形成附着力高，线宽更窄厚度更薄的图形化种子层，进一步提高光伏电池的转换效率及可靠性，同时降低金属电极制作成本。
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公开(公告)号：CN116669514A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202210865195.0
申请日：2022-07-21
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种钙钛矿太阳能电池组件的制备方法及系统，涉及钙钛矿太阳能电池组件制备技术领域，方法中P2激光划线具体为：采用皮秒、纳秒或连续型的激光器发出的激光束照射在选定区域的前电极层和中间层之间的界面上，界面处温度升高，基于前电极层和与其接触的中间层的吸收率及热膨胀系数差异，前电极层和与其接触的中间层因变形量不同而产生相对位移，使得选定区域的中间层脱附剥离，实现P2激光划线。采用本发明工艺使得剥离后的刻线底部残留更少，边界更清晰，减少了后续工艺中前后电极的接触电阻。
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公开(公告)号：CN116666502A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202210251463.X
申请日：2022-03-15
申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司 , 帝尔激光科技(无锡)有限公司
IPC分类号： H01L31/20 , B23K26/38 , H01L21/268 , H01L21/304
摘要： 本发明公开了一种太阳能电池切割方法，所述的电池包括表面钝化层和晶硅层；本方法先采用第一激光对电池表面钝化层进行消融处理，得到开槽，然后再用第二激光在开槽区中进行切割操作，该切割操作可以是激光划线加掰片方式，或激光加工诱导槽后冷热应力裂片(无损切割)方式；采用本发明的切割方法，能够降低在钝化层切割过程中对硅本体表面损伤和热损失，进而降低效率损失。
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