发明公开
- 专利标题： 用于分离远场中的辐射的组件
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申请号： CN202280015634.7申请日： 2022-01-12
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公开(公告)号： CN116888513A公开(公告)日： 2023-10-13
- 发明人: P·W·斯摩奥伦堡 , J·赖宁克 , M·P·瑞因德斯 , H-K·尼恩惠斯 , D·欧德威尔 , S·B·罗博尔 , C·L·波特 , S·爱德华
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王益
- 优先权： 21176286.9 20210527 EP 21176286.9 20210527 EP
- 国际申请： PCT/EP2022/050490 2022.01.12
- 国际公布： WO2022/174991 EN 2022.08.25
- 进入国家日期： 2023-08-17
- 主分类号： G02B6/26
- IPC分类号： G02B6/26
摘要：
一种用于在远场中分离第一辐射与第二辐射的组件和方法，其中，所述第一辐射和所述第二辐射具有非重叠波长。所述组件包括：毛细管结构，其中，所述第一辐射和所述第二辐射沿所述毛细管结构的至少一部分同轴地传播；和光学结构，所述光学结构被配置成通过干涉来控制所述第一辐射在所述毛细管结构外部的空间分布，使得所述第一辐射在所述远场中的强度沿所述第二辐射的光轴减小。
