发明公开
- 专利标题: 基于MEMS加工工艺校正制造探针卡转接板的方法
-
申请号: CN202310893633.9申请日: 2023-07-20
-
公开(公告)号: CN116902909A公开(公告)日: 2023-10-20
- 发明人: 邵宇 , 侯克玉 , 于海超
- 申请人: 强一半导体(苏州)股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
- 专利权人: 强一半导体(苏州)股份有限公司
- 当前专利权人: 强一半导体(苏州)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
- 代理机构: 苏州谨和知识产权代理事务所
- 代理商 田媛
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00 ; B81C99/00
摘要:
本申请公开一种基于MEMS加工工艺制造探针卡转接板的方法,所述的转接板由陶瓷基板经过校正补偿处理之后再进行再布线处理,所述的校正补偿处理是:在陶瓷基板烧结完毕后,在该陶瓷基板的结合面上通过重布线工艺形成经过位置校正后的若干焊垫,若干焊垫与陶瓷基板内的若干电极分别一一导电连接。本申请的方法通过补偿层改变PAD位置度,使得转接板的倒装焊结合面露出的PAD位置度符合生产要求,倒装焊结合面可进行再加工,并且该方法具有更快的时效性、稳定性及简易性。