一种石英衬底铌酸锂模斑转换器
摘要:
本发明公开了一种石英衬底铌酸锂模斑转换器,涉及光通信和微波光子领域。本发明包括石英衬底层、二氧化硅包层、铌酸锂波导层、氧化物夹层和氧化物上包层,所述铌酸锂波导层为三层阶梯型结构,且三层铌酸锂波导层的光纤耦合端横截面均为等腰梯形,氧化物夹层和氧化物上包层的光纤耦合端横截面均下部设有缺口,上部设有等腰梯形突出的形状,且氧化物夹层和氧化物上包层的等腰梯形突出、铌酸锂波导层的横截面等腰梯形的斜边角度均不超过70°。本发明可实现光信号在集成铌酸锂光子芯片与光纤间进行耦合时的高耦合和低传输损耗,且降低了工艺加工难度,具有较高的实用性。
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