本发明公开了一种级联型GaN HEMT封装器件及其制备方法，器件包括：框架；倒装设置于框架上的GaN HEMT，其正面包括与框架源极相连的第一栅极、与框架漏极相连的第一漏极，背面包括第一源极；背面与GaN HEMT背面贴合的MOSFET，其背面包括与第一源极接触相连的第二漏极，正面包括与框架栅极相连的第二栅极、与框架源极相连的第二源极。本发明公开的方案，将GaN HEMT倒装于框架上，在GaN HEMT背面设置第一源极，MOSFET背面贴合在GaN HEMT背面，MOSFET背面的第二漏极与GaN HEMT背面的第一源极接触相连，以降低级联型封装器件封装面积和杂散电感，并提高封装器件散热能力。