本发明提供了一种MEMS微镜阵列的制备方法，包括如下步骤：S1、在读出电路板表面设置基板；S2、在基板表面沉积牺牲层，并在牺牲层表面刻蚀通孔；S3、在牺牲层表面沉积与读出电路板连接的镜面，得到MEMS微镜；S4、刻蚀MEMS微镜得到阵列化排布的微镜单元；S5、去除牺牲层，得到MEMS微镜阵列。本方法通过读出电路板与每个微镜单元的独立连接实现了其阵列化设置，每个微镜单元均能够独立控制其偏转，可在较小的静电驱动力作用下满足所需的偏转角度，提高了产品的使用灵活程度及效果，此外，本方法通过牺牲层的设置制备出扭转刚度较小的微镜阵列，并提高了镜面的填充率，使微镜单元可呈现出更佳的成像效果。