发明公开
CN116954037A 曝光机
审中-公开
- 专利标题: 曝光机
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申请号: CN202311084969.7申请日: 2023-08-25
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公开(公告)号: CN116954037A公开(公告)日: 2023-10-27
- 发明人: 项宗齐 , 汪涛 , 刘国藩
- 申请人: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
- 专利权人: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
- 代理机构: 北京景闻知识产权代理有限公司
- 代理商 王雪兰
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明公开了一种曝光机,包括:曝光装置,所述曝光装置包括:两个曝光组件,两个所述曝光组件沿第一方向相对设置,两个所述曝光组件对料带同步进行双面曝光;传输装置,所述传输装置包括:至少两个第一滚轮,至少两个所述第一滚轮沿高度方向间隔设置且分别位于两个所述曝光组件的上下两侧,以用于输送所述料带在两个所述曝光组件之间沿高度方向运动。其中,料带在两个曝光组件之间沿高度方向运动,避免料带悬空因重力变形,导致曝光组件离焦;两个曝光组件对料带在第一方向的两个侧面进行双面同步曝光。
IPC分类: