发明公开
- 专利标题: 一种钨钛靶材坯料的制备方法
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申请号: CN202310862536.3申请日: 2023-07-14
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公开(公告)号: CN116970853A公开(公告)日: 2023-10-31
- 发明人: 赵琪 , 许彦亭 , 闻明 , 施晨琦 , 李治东 , 普志辉 , 刘牛 , 卯明辉
- 申请人: 云南贵金属实验室有限公司 , 贵研铂业股份有限公司
- 申请人地址: 云南省昆明市高新区科技路988号;
- 专利权人: 云南贵金属实验室有限公司,贵研铂业股份有限公司
- 当前专利权人: 云南贵金属实验室有限公司,贵研铂业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 云南省昆明市高新区科技路988号;
- 代理机构: 昆明今威专利商标代理有限公司
- 代理商 赵云
- 主分类号: C22C27/04
- IPC分类号: C22C27/04 ; B22F1/00 ; B22F9/04 ; B22F1/145 ; B22F1/12 ; B22F3/10 ; B22F3/14
摘要:
本发明涉及一种钨钛靶材坯料的制备方法,包括:1)先通过纯钨粉体和纯钛粉体进行高能球磨增加两者表面缺陷程度,有利于提高烧结阶段的钨钛之间的扩散程度;2)对钨钛混合粉体进行通氢还原降低其表面氧含量;3)添加氢化钛粉体与钨钛混合粉体进行二次均匀化球磨,利用氢化钛在预烧结阶段的分解产氢作用降低块体钨钛靶材坯料内部的含氧量;4)利用预烧结和致密化烧结实现钨钛靶材坯料气体含量降低和微观结构可控性制备;5)利用热压塑性变形处理进一步提高钨钛靶材坯料的致密度和钨钛之间的扩散程度。本发明实现了对于钨钛靶材坯料致密度的提高、含氧量的降低和微观结构的可控性制备,所制备的钨钛靶材服役性能得到了提高。