薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器
摘要:
本申请公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法,以及应用该薄膜体声波谐振器的滤波器,该薄膜体声波谐振器包括基底和位于基底一侧依次排布的介质腔、第一电极、压电层和第二电极,在第二电极与压电层之间,和/或,在第一电极与压电层之间设置有第一间隙,第一间隙的至少一端为谐振器有源区域的边界,通过在第一间隙内设置至少一个介质块,且介质块同时与压电层以及第一间隙背离压电层一侧的电极相接触,将第一间隙分隔为至少两个子间隙,不仅可以提高第一间隙的物理强度,还使得第一间隙的高度可以更高,以更有效地反射声波,而且在压电层边界引入更多不连续的声阻抗变化,进一步增强对声波的反射,减小能量损耗,提升谐振器的性能。
公开/授权文献
0/0