发明授权
- 专利标题: 薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器
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申请号: CN202311008006.9申请日: 2023-08-10
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公开(公告)号: CN116979925B公开(公告)日: 2024-10-18
- 发明人: 高安明 , 路晓明 , 姜伟
- 申请人: 浙江星曜半导体有限公司
- 申请人地址: 浙江省温州市浙南科技城创新创业新天地一期1号楼506室(自主申报)
- 专利权人: 浙江星曜半导体有限公司
- 当前专利权人: 浙江星曜半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省温州市浙南科技城创新创业新天地一期1号楼506室(自主申报)
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 张静
- 主分类号: H03H9/17
- IPC分类号: H03H9/17 ; H03H9/13 ; H03H9/02 ; H03H9/54 ; H03H3/02
摘要:
本申请公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法,以及应用该薄膜体声波谐振器的滤波器,该薄膜体声波谐振器包括基底和位于基底一侧依次排布的介质腔、第一电极、压电层和第二电极,在第二电极与压电层之间,和/或,在第一电极与压电层之间设置有第一间隙,第一间隙的至少一端为谐振器有源区域的边界,通过在第一间隙内设置至少一个介质块,且介质块同时与压电层以及第一间隙背离压电层一侧的电极相接触,将第一间隙分隔为至少两个子间隙,不仅可以提高第一间隙的物理强度,还使得第一间隙的高度可以更高,以更有效地反射声波,而且在压电层边界引入更多不连续的声阻抗变化,进一步增强对声波的反射,减小能量损耗,提升谐振器的性能。
公开/授权文献
- CN116979925A 薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器 公开/授权日:2023-10-31
IPC分类: