悬臂式探针卡装置及其对焦型探针
Abstract:
本发明公开一种悬臂式探针卡装置及其对焦型探针。所述对焦型探针包含一焊接段、一测试段、彼此间隔地设置的两个外弹性臂及一对焦部。所述测试段与所述焊接段在一配置方向上呈间隔地设置,并且所述测试段具有一针尖及分别位于所述针尖相反两侧的一外边缘与一内边缘。每个所述外弹性臂具有两个端部,其分别连接所述焊接段与所述测试段的所述内边缘。所述对焦部相连于所述测试段的所述内边缘、并位于所述针尖与两个所述外弹性臂之间。其中,所述对焦部于远离两个所述外弹性臂的一侧形成有多个对焦点。据此,所述对焦型探针能通过所述对焦部的配置,而能够有效地降低所述针尖的位置被误判的机率。
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