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公开(公告)号：CN117233438A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210475429.0
申请日：2022-04-29
申请人： 台湾中华精测科技股份有限公司
IPC分类号： G01R1/073
摘要： 本发明公开一种悬臂式探针卡及其探针模块。所述探针模块包含一支撑板、设置于所述支撑板的一基板、多个悬臂探针及多个细调整件。所述基板呈非平面状且于一测试方向上形成有一翘曲落差。每个悬臂探针的一端连接于所述基板，并且每个所述悬臂探针的另一端定义为一自由端。多个所述细调整件彼此间隔地设置于所述支撑板与所述基板之间。每个所述细调整件能沿所述测试方向而独立地运作，以改变所述支撑板与所述基板之间的距离。所述基板能通过至少一个所述细调整件而形变，以于所述测试方向上缩小所述基板的所述翘曲落差。据此，多个所述悬臂探针能够被安装在沿所述测试方向上的高度更为一致的所述基板。
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公开(公告)号：CN117007842A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210475430.3
申请日：2022-04-29
申请人： 台湾中华精测科技股份有限公司
IPC分类号： G01R1/073
摘要： 本发明公开一种悬臂式探针卡及其承载座。所述承载座包含一座体、一金属承载片及多个粗调整件。所述金属承载片安装于所述座体并具有一承载面。多个所述粗调整件彼此间隔地设置于所述座体与所述金属承载片之间。每个所述粗调整件能沿一测试方向而独立地运作，以改变所述承载面与所述座体之间的距离。所述承载面包含有彼此间隔地设置的多个安装区域，并且多个所述安装区域之中的至少两个于所述测试方向上形成有一安装落差。所述承载座能通过至少一个所述粗调整件而使所述金属承载片产生形变，以于所述测试方向上缩小所述安装落差。据此，多个所述安装区域在沿所述测试方向上的高度更为一致。
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公开(公告)号：CN117007841A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210473940.7
申请日：2022-04-29
申请人： 台湾中华精测科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种悬臂式探针卡装置及其弹臂型探针。所述弹臂型探针包含一焊接段、一测试段及彼此间隔地设置的两个外弹性。所述测试段与所述焊接段在一配置方向上呈间隔地设置，并且所述测试段具有一针尖及分别位于所述针尖相反两侧的一外边缘与一内边缘。每个所述外弹性臂具有两个端部，其分别连接所述焊接段与所述测试段的所述内边缘。两个所述外弹性臂的其中之一邻近于所述针尖且定义为一第一外弹性臂，而两个所述外弹性臂的其中另一定义为一第二外弹性臂，并且所述第一外弹性臂的长度大于所述第二外弹性臂的长度。据此，所述弹臂型探针能通过至少其中一个所述外弹性臂产生弹性地形变，以有效地吸收反作用力，并能缩小所述针尖的位移。
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公开(公告)号：CN117007840A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210473776.X
申请日：2022-04-29
申请人： 台湾中华精测科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种悬臂式探针卡装置及其对焦型探针。所述对焦型探针包含一焊接段、一测试段、彼此间隔地设置的两个外弹性臂及一对焦部。所述测试段与所述焊接段在一配置方向上呈间隔地设置，并且所述测试段具有一针尖及分别位于所述针尖相反两侧的一外边缘与一内边缘。每个所述外弹性臂具有两个端部，其分别连接所述焊接段与所述测试段的所述内边缘。所述对焦部相连于所述测试段的所述内边缘、并位于所述针尖与两个所述外弹性臂之间。其中，所述对焦部于远离两个所述外弹性臂的一侧形成有多个对焦点。据此，所述对焦型探针能通过所述对焦部的配置，而能够有效地降低所述针尖的位置被误判的机率。
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公开(公告)号：CN116008618A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202111232742.3
申请日：2021-10-22
申请人： 台湾中华精测科技股份有限公司
IPC分类号： G01R1/067
摘要： 本发明公开一种悬臂式探针结构。悬臂式探针结构包含一固定段、相连于固定段的一行程段、相连于行程段的一针测段。行程段朝远离固定段的方向依序具有一第一特征部、一弹性部及一第二特征部，第一特征部与第二特征部彼此相向且间隔设置，针测段相连于第二特征部。当悬臂式探针结构以针测段的一自由端顶抵于一待测物，以通过弹性部形变而使第二特征部接触于第一特征部时，悬臂式探针结构形成由自由端依序沿经针测段、第二特征部及第一特征部而至固定段的一信号传输路径。据此，悬臂式探针结构通过弹性部而有效地优化整体受力结构，并大幅地缩短信号传输的路径长度。
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