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悬臂式探针卡及其承载座
Abstract:
本发明公开一种悬臂式探针卡及其承载座。所述承载座包含一座体、一金属承载片及多个粗调整件。所述金属承载片安装于所述座体并具有一承载面。多个所述粗调整件彼此间隔地设置于所述座体与所述金属承载片之间。每个所述粗调整件能沿一测试方向而独立地运作,以改变所述承载面与所述座体之间的距离。所述承载面包含有彼此间隔地设置的多个安装区域,并且多个所述安装区域之中的至少两个于所述测试方向上形成有一安装落差。所述承载座能通过至少一个所述粗调整件而使所述金属承载片产生形变,以于所述测试方向上缩小所述安装落差。据此,多个所述安装区域在沿所述测试方向上的高度更为一致。
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