发明公开
- 专利标题: 一种双沟道垂直超结GaN HEMT及制备方法
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申请号: CN202310917815.5申请日: 2023-07-24
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公开(公告)号: CN117012819A公开(公告)日: 2023-11-07
- 发明人: 张婷
- 申请人: 深圳天狼芯半导体有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区科技南路18号深圳湾科技生态园12栋裙楼904-905
- 专利权人: 深圳天狼芯半导体有限公司
- 当前专利权人: 深圳天狼芯半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区科技南路18号深圳湾科技生态园12栋裙楼904-905
- 代理机构: 深圳中创智财知识产权代理有限公司
- 代理商 吴英
- 主分类号: H01L29/778
- IPC分类号: H01L29/778 ; H01L29/06 ; H01L29/20 ; H01L29/207 ; H01L21/335
摘要:
本发明提供一种双沟道垂直超结GaN HEMT及制备方法,该GaN HEMT包括:P‑GaN层、UID GaN层、多个AlGaN层和多个GaN层、沟槽和栅极;所述UID GaN层位于衬底上方并与N pillar邻接;所述P‑GaN层位于所述UID GaN层上方并与所述Npillar邻接;所述第一GaN层位于所述P‑GaN层上方;所述第一AlGaN层位于所述GaN层上方;所述第二GaN层位于所述第一AlGaN层上方;所述第二AlGaN层位于所述第二GaN层上方;在所述多个AlGaN层和所述多个GaN层中间蚀刻所述沟槽;在所述沟槽中沉积所述栅极金属和层间介质。本发明利用P‑GaN层代替传统的场截止层,避免了高浓度P柱的制作的同时也能够达到传统P柱能够提高GaN HEMT耐压的性能,节约了生产成本。
IPC分类: