发明公开
- 专利标题： 具有组合式排气管的拉锭器设备及用于选择排气管上下部分长度的方法
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申请号： CN202280022903.2申请日： 2022-02-11
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公开(公告)号： CN117043396A公开(公告)日： 2023-11-10
- 发明人: J·柳 , 池浚焕 , 尹佑镇 , B·M·迈耶 , 卡瑞喜玛·玛丽·哈德森
- 申请人： 环球晶圆股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹市工业东二路8号
- 专利权人： 环球晶圆股份有限公司
- 当前专利权人： 环球晶圆股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹市工业东二路8号
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 江葳
- 优先权： 63/153,012 20210224 US
- 国际申请： PCT/US2022/016188 2022.02.11
- 国际公布： WO2022/182534 EN 2022.09.01
- 进入国家日期： 2023-09-20
- 主分类号： C30B15/00
- IPC分类号： C30B15/00
摘要：
公开具有组合式排气管的拉锭器设备及用于选择所述组合式排气管上下部分长度的方法。在一些实施例中，所述组合式排气管的所述上部由石墨制成，且所述下部由不锈钢制成。