发明公开
CN117089807A 掩模组件和掩模替换方法
审中-公开
- 专利标题： 掩模组件和掩模替换方法
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申请号： CN202310486560.1申请日： 2023-04-28
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公开(公告)号： CN117089807A公开(公告)日： 2023-11-21
- 发明人: 金桢国 , 宋昇勇 , 赵原济 , 赵恩翡 , 黄圭焕
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构： 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 田野; 尹淑梅
- 优先权： 10-2022-0062319 2022.05.20 KR
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; C23C16/04
摘要：
提供了一种掩模组件和掩模替换方法，所述掩模替换方法包括：设置掩模组件，掩模组件包括包含开口的框架、设置在框架上的第一掩模以及在平面图中与第一掩模叠置的第一焊接部；从框架去除第一掩模；以及在其上设置有第一焊接部的框架上形成第二掩模和在平面图中与第二掩模叠置的第二焊接部。第一焊接部可以与第二掩模间隔开，并且第一焊接部和第二焊接部可以在一方向上布置。
IPC分类:
