本发明公开了一种背刻蚀型体声波谐振器及其制作方法，属于第三代半导体材料与器件领域，谐振器包括顶电极层、底电极层以及夹在顶电极层和底电极层之间的压电层，底电极层的下方设置有环带状的衬底以在衬底中央形成空腔，顶电极层从中央往外形成向下的阶梯，顶电极层的边缘形成包围阶梯的边框，边框上设置有环带状的负载层，通过负载层抑制寄生电容的产生，再通过具有阶梯结构的顶电极层增加横向波传播路径中的阻力，进一步抑制寄生效应，同时还可以减少声波的泄露，对声波能量进行约束，有利于提升谐振器的品质因数，空腔的设置有利于利用空气声阻抗和压电材料声阻抗不同的特点，有效形成对体声波的全反射。