发明授权
- 专利标题: 一种键合装置及键合方法
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申请号: CN202311435736.7申请日: 2023-11-01
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公开(公告)号: CN117153742B公开(公告)日: 2024-01-02
- 发明人: 王正根 , 常健伟 , 成春荣 , 陈万群
- 申请人: 迈为技术(珠海)有限公司
- 申请人地址: 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)
- 专利权人: 迈为技术(珠海)有限公司
- 当前专利权人: 迈为技术(珠海)有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)
- 代理机构: 北京泽方誉航专利代理事务所
- 代理商 唐明磊
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/52 ; H01L21/677 ; H01L21/683 ; H01L21/687
摘要:
本发明公开一种键合装置及键合方法,其中,键合装置包括第一取料机构、第二取料机构、冷却对中机构、识别对中机构、涂胶机、加热机构、洗边机、第一键合机构与第二键合机构。第一取料机构包括第一活动臂以及设于所述第一活动臂的第一吸附器,第二取料机构包括第二活动臂、第三活动臂、设于第二活动臂的第二吸附器、设于第三活动臂的驱动器、与所述驱动器传动连接的第三吸附器;所述驱动器用于驱动所述第三吸附器相对所述第三活动臂翻转。本发明的键合装置的各部分组成及布局设计更合理,可以提高键合装置的生产效率。
公开/授权文献
- CN117153742A 一种键合装置及键合方法 公开/授权日:2023-12-01