碳化硅粉料合成装置及碳化硅粉料
摘要:
本发明的实施例提供了一种碳化硅粉料合成装置及碳化硅粉料,涉及碳化硅生产领域,碳化硅粉料合成装置包括支撑架、内坩埚和外坩埚,内坩埚设置于支撑架且能绕自身轴线转动,内坩埚的轴线沿水平方向延伸,内坩埚上开设有第一排杂孔,外坩埚设置于支撑架且罩住内坩埚,外坩埚与内坩埚相对固定且轴线重合,外坩埚上开设有第二排杂孔。通过设置可转动的内坩埚,可以为碳化硅粉料的合成提供温度梯度变化的热场,从而提高合成的碳化硅粉料中可用粒径的碳化硅颗粒的占比,从而提高原料的利用率,降低碳化硅粉料合成的成本。
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