发明公开
- 专利标题： 一种氧化锆复合旋转靶材及其制备方法
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申请号： CN202311303865.0申请日： 2023-10-10
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公开(公告)号： CN117305749A公开(公告)日： 2023-12-29
- 发明人: 王雷
- 申请人： 江苏海泰光电材料科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省南通市通州区十总镇洋海线88号
- 专利权人： 江苏海泰光电材料科技有限公司
- 当前专利权人： 江苏海泰光电材料科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 226000 江苏省南通市通州区十总镇洋海线88号
- 代理机构： 南通亿旸知识产权代理事务所
- 代理商 丁松鹏
- 主分类号： C23C4/10
- IPC分类号： C23C4/10 ; C23C4/06 ; C23C4/16 ; C23C4/134 ; C23C14/34 ; C23C14/14 ; C23C14/08
摘要：
本发明公开了一种氧化锆复合旋转靶材及其制备方法，以质量百分比计算，该氧化锆复合旋转靶材包括40‑99%的氧化锆和1‑60%的助剂，所述助剂选自NbOx、Nb、TiOx、Ti、AlOx、Al其中至少一种，使用等离子喷涂装置，在工件上喷涂混合粉末，形成有效涂层；使用该方法制成的成品结构致密、导电性好、组分均匀、无裂纹。
IPC分类:
