发明授权
- 专利标题: 一种摆臂稳定的固晶机
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申请号: CN202311663688.7申请日: 2023-12-06
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公开(公告)号: CN117352442B公开(公告)日: 2024-02-02
- 发明人: 曹皇东 , 谢国请 , 曹国光
- 申请人: 东莞市华越半导体技术股份有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市横沥镇横沥育才路32号9号楼
- 专利权人: 东莞市华越半导体技术股份有限公司
- 当前专利权人: 东莞市华越半导体技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市横沥镇横沥育才路32号9号楼
- 代理机构: 广东中科凯道知识产权代理事务所
- 代理商 孟杰
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/677
摘要:
本发明公开了一种摆臂稳定的固晶机,包括工作台,所述工作台顶面两侧垂直固接两个立板,两个所述立板顶面固接顶架,所述顶架底面固接点胶机构,所述工作台顶面内侧开设顶腔,所述工作台顶面固接输送槽道,所述顶腔内位于输送槽道下方位置固接扩晶台。本发明中摆臂组件在进行摆动运动时,由第一伺服减速电机带动驱动轴转动,驱动轴转动时,通过带轮带动转柱及立轴转动,转柱实现短臂端部位置的转动,同时立轴带动主动齿轮转动,带动内齿环转动,这样内齿环拉动弧形滑块移动,这样实现短臂两端同时被驱动来实现摆动,这样短臂端部会被弧形滑块更好的限位,降低其端部受到惯性及重力的影响,保证了摆臂摆动动作时的稳定性,提高取晶的精准度。
公开/授权文献
- CN117352442A 一种摆臂稳定的固晶机 公开/授权日:2024-01-05