发明公开
- 专利标题: 一种LED芯片键合方法及LED芯片
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申请号: CN202311191810.5申请日: 2023-09-15
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公开(公告)号: CN117352602A公开(公告)日: 2024-01-05
- 发明人: 吴小明 , 黄超 , 王立 , 莫春兰 , 李新华 , 夏邦美 , 龚诚凯 , 刘璐
- 申请人: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
- 申请人地址: 江西省南昌市红谷滩区学府大道999号
- 专利权人: 南昌大学,南昌硅基半导体科技有限公司,南昌实验室
- 当前专利权人: 南昌大学,南昌硅基半导体科技有限公司,南昌实验室
- 当前专利权人地址: 江西省南昌市红谷滩区学府大道999号
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/44 ; H01L33/46
摘要:
本发明提供了一种LED芯片键合方法及LED芯片,其中,所述LED芯片键合方法包括:提供发光二极管外延片,所述外延片上顺次形成反射镜层、第一粘结金属层、第一阻挡金属层及第一键合层;提供支撑基板,所述基板上顺次形成第二粘结金属层、第二阻挡金属层及第二键合层;将所述外延片与基板键合在一起,形成第三键合层;其中,第一键合层和第二键合层为高熔点金属层Cu与低熔点金属层In组成的周期性结构,使得键合反应快速而充分地进行;所述低熔点金属层的表面为键合时的贴合面。该方法通过采用Cu‑In固液互扩散键合工艺来键合LED外延片和基板,避免了贵金属Au的使用,从而降低了LED芯片制造成本。
IPC分类: