一种LED芯片键合方法及LED芯片
摘要:
本发明提供了一种LED芯片键合方法及LED芯片,其中,所述LED芯片键合方法包括:提供发光二极管外延片,所述外延片上顺次形成反射镜层、第一粘结金属层、第一阻挡金属层及第一键合层;提供支撑基板,所述基板上顺次形成第二粘结金属层、第二阻挡金属层及第二键合层;将所述外延片与基板键合在一起,形成第三键合层;其中,第一键合层和第二键合层为高熔点金属层Cu与低熔点金属层In组成的周期性结构,使得键合反应快速而充分地进行;所述低熔点金属层的表面为键合时的贴合面。该方法通过采用Cu‑In固液互扩散键合工艺来键合LED外延片和基板,避免了贵金属Au的使用,从而降低了LED芯片制造成本。
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