发明公开
CN117369107A 一种基于折返式物镜的检测设备
无效 - 撤回
- 专利标题： 一种基于折返式物镜的检测设备
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申请号： CN202311665905.6申请日： 2023-12-07
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公开(公告)号： CN117369107A公开(公告)日： 2024-01-09
- 发明人: 王少卿 , 王超新 , 王婧 , 蔡雄飞
- 申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室
- 专利权人： 苏州矽行半导体技术有限公司
- 当前专利权人： 苏州矽行半导体技术有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室
- 代理机构： 北京千壹知识产权代理事务所
- 代理商 王玉玲
- 主分类号： G02B21/12
- IPC分类号： G02B21/12 ; G02B21/04 ; G02B21/02
摘要：
本发明提供了一种基于折返式物镜的检测设备，属于半导体检测领域，检测设备包括成像单元、变倍镜组、半透半反镜、明场光入射镜筒组、折返式物镜组、补偿镜和载台，折返式物镜组包括开孔式、增透膜加补偿镜两种模式，并在暗场光的出射路径设置功率计，本申请提供了大数值孔径NA的暗场散射信号收集，以及提供明场和暗场可选的混合双通道，实现相同NA的明暗场图像融合，提高了检测精度和灵敏度。
