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公开(公告)号：CN118092350B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410224317.7
申请日：2024-02-29
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本发明提供了一种基于过驱动的柔性振动反馈控制方法及晶圆检测设备，属于半导体控制工程领域，本发明通过将刚体运动控制与柔性振动控制解耦，降低了控制器设计难度；在模态坐标系下采用直接速度反馈控制方法及相位控制的综合方法，结合LQR最优控制方法进行控制器设计，实现了当前扫描场柔性振动的最优控制及全局的控制稳定性；通过Conventional gain scheduling方法得到随位置变化的控制器模型，保证了全局控制精度；此外，本发明具有较强的鲁棒性，能够较好地处理工件台动力学建模误差及运行过程中的模态摄动问题；本申请的控制方案适用于半导体精密检测、制造、机器人技术等多个领域的推广应用。
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公开(公告)号：CN117853453A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410035117.7
申请日：2024-01-10
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
IPC分类号： G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/774
摘要： 本发明提供了一种基于梯度提升树的缺陷过滤方法，属于缺陷检测的算法领域，方法包括图片采集并裁切、图片划分、特征计算、特征向量降维、设置类别标签、建立梯度提升树模型、梯度提升树预测，将测试集或采集的待检测缺陷样本输入梯度提升树模型中进行预测，获得缺陷样本的预测结果，实现假点缺陷过滤。本申请采用特征提取有效过滤假点缺陷，机器学习分类采用梯度提升树，在处理高维稀疏数据的同时还能有效地处理大规模数据，整体提高了缺陷检测的准确性和检测效率。
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公开(公告)号：CN117470509B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311815622.5
申请日：2023-12-27
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
IPC分类号： G01M11/02 , G06F30/20 , G01N21/95 , G06F119/02
摘要： 本发明提供了一种紫外成像系统像质检测中点扩散函数的测量方法，属于晶圆检测领域，测量方法包括搭建显微成像系统、构建平面基底上单元纳米结构的暗场散射场分布的数值计算模型、显微成像系统中点扩散函数测量精度和可靠性判断和确定显微成像系统的点扩散函数在应用场景中的最优测量参数。本申请通过采用暗场散射成像方式进行成像系统的点扩散函数测量，可提高点扩散函数测量结果的信噪比。针对紫外至深紫外成像系统，通过选取特定材料、设计纳米结构、优化数值仿真计算模型，可以提供构建较理想等效点辐射源的方案，从而保证系统点扩散函数测量的精度和可靠性。
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公开(公告)号：CN117557555A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202410025373.8
申请日：2024-01-08
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种逻辑芯片掩膜版缺陷检测方法，包括：扫描参照晶圆的影像，作为基准参照图像Ir；扫描待测晶圆的影像，作为待测图像It；对基准参照图像Ir和待测图像It进行配准，消除两次图像空间尺度的位移和扭曲噪声，消除两次图像的图像明暗差异噪声；采用差分匹配滤波，获得差异；当差异超出设定阈值时，记录为缺陷，从而能够有效检测出逻辑芯片掩膜版上的残留缺陷，极大地保障图形晶圆的良率，尤其适用于晶圆明场检测设备对逻辑芯片掩膜版缺陷的检测中，助力于提升设备的检测覆盖率。
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公开(公告)号：CN117529067A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202410010635.3
申请日：2024-01-04
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种晶圆检测用机柜系统，属于半导体设备用服务器环控领域，机柜系统包括服务器机柜、机柜进风口、排风及监测通道和厂务排风管道；在机柜进风口上设置温湿度传感器、防水顶盖和防尘网罩；在排风及监测通道处设置温度传感器和风速传感器。通过本方案，可以有效实现服务器的温湿度控制，运行稳定性提高，便于在半导体检测设备等领域推广应用。
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公开(公告)号：CN117470509A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311815622.5
申请日：2023-12-27
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
IPC分类号： G01M11/02 , G06F30/20 , G01N21/95 , G06F119/02
摘要： 本发明提供了一种紫外成像系统像质检测中点扩散函数的测量方法，属于晶圆检测领域，测量方法包括搭建显微成像系统、构建平面基底上单元纳米结构的暗场散射场分布的数值计算模型、显微成像系统中点扩散函数测量精度和可靠性判断和确定显微成像系统的点扩散函数在应用场景中的最优测量参数。本申请通过采用暗场散射成像方式进行成像系统的点扩散函数测量，可提高点扩散函数测量结果的信噪比。针对紫外至深紫外成像系统，通过选取特定材料、设计纳米结构、优化数值仿真计算模型，可以提供构建较理想等效点辐射源的方案，从而保证系统点扩散函数测量的精度和可靠性。
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公开(公告)号：CN117347373A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311406946.3
申请日：2023-10-27
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明提供了一种半导体检测用多光源照明成像系统，属于半导体光学检测领域，系统包括多个光源、多个耦合组件、多个方棒、照明组件、物镜、像镜和多个成像传感器；其中，由多个光源、多个耦合组件构成耦合光路，从方棒经照明组件和物镜组成照明光路，从物镜、像镜至成像传感器组成成像光路；其中，方棒和成像传感器的位置及排布、方棒末端端面和成像传感器的感光面成比例可调的设置。本申请可以提高照明系统的能量效率，降低对单个光源的要求。本方案还可以减少光路中的杂散光，避免在高功率的条件下因为杂散光导致精密光机温度变化发生形变。可广泛应用于如晶圆等缺陷类型和不同材质的检测需求。
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公开(公告)号：CN114413153B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210208090.8
申请日：2022-03-03
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
发明人： 不公告发明人
IPC分类号： G06F1/16
摘要： 本发明提供了一种集成式电子设备支架及设备机箱,属于计算机设备的支撑架领域，集成式电子设备支架包括主梁、下支梁、斜置梁、转接板；在所述主梁、调节件、显示器转接架和键盘鼠标载板上均设置吸振件，通过转接板将集成式电子设备支架连接至机箱或固定台；设备机箱括箱体、集成式外延支架和启动锁；通过集成式电子设备支架可以很好的满足外悬显示器及键盘鼠标的支撑，且整体具有吸振性能，符合人体工程学设计，便于在办公室、自动化工厂、智能工厂等需要对计算机支撑的设备箱体上安装应用。
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公开(公告)号：CN115290301A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202211195696.9
申请日：2022-09-29
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
摘要： 本发明涉及光学显微成像技术和数字图像处理领域，提供的一种高信噪比图像获取装置及点扩散函数测量方法，该装置包括载物玻璃、补光光源模块、显微成像单元和设置在封闭腔体内的反射镜组；在图像采集装置上增加了对称的补充光源斜入射样品，并以吸光材料加持，在不增加背景噪声的情况下增加了纳米小球的散射强度，从而提高了纳米小球图像的信噪比；利用自动定位纳米小球的方法，自动剔除成团或者邻近的纳米小球，从而筛选出符合要求的单个纳米小球，用以计算显微系统的PSF，减少了人工的工作量；本发明的技术方案具有易于搭建，实现成本低，图像质量高、耗时少等特点；可以在半导体、芯片等需要高精测量和实时测量的领域推广应用。
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公开(公告)号：CN114688183A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210318975.3
申请日：2022-03-29
申请人： 苏州矽行半导体技术有限公司
发明人： 不公告发明人
IPC分类号： F16D49/10 , F16D49/12 , F16D65/06 , H01L21/687 , H01L21/68
摘要： 本发明提供了一种制动机构及采用该制动机构的调角载台，属于高精密驱动载台领域，制动机构包括摩擦传动带、摩擦传动带支撑组件、刹车驱动滑座组件、制动器、摩擦滚轮和Z轴摩擦片；调角载台包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、Y轴驱动组和X轴驱动组；X轴驱动组设置在X轴横梁与晶圆载台之间，驱动晶圆载台和摩擦传动机构同步的沿着X轴横梁横向移动，同时摩擦传动机构摩擦传动使得晶圆载台的载盘转动，从而调整晶圆角度；通过本发明的制动机构可以为主动或被动驱动的载台提供制动力，同时可提供转角调节，降低了成本，提高了整体性能，便于在带有运动台或载台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。
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