发明公开
- 专利标题: 一种金铝互联传输线及其制备方法
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申请号: CN202311297414.0申请日: 2023-10-08
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公开(公告)号: CN117374002A公开(公告)日: 2024-01-09
- 发明人: 李仕俊 , 杨阳阳 , 徐达 , 常青松 , 袁彪 , 史光华 , 王真 , 王胜奎 , 闫妍 , 杨曌 , 戈江娜 , 王二超 , 魏少伟 , 杨彦锋 , 马成龙 , 吴浩宇
- 申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市合作路113号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市合作路113号
- 代理机构: 石家庄国为知识产权事务所
- 代理商 王艳平
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; C25D5/02 ; C25D5/12
摘要:
本发明实施例提供一种金铝互联传输线及其制备方法,涉及半导体封装技术领域。本发明通过在临时基板上电镀制备长度大于等于金铝焊盘间距的金传输带,在金传输带上制备镍阻挡层、铝焊盘,去除临时基板后得到带状金铝互联传输线。带状金铝互联传输线用于柔性连接独立芯片的铝焊盘与电路板的金焊盘,一端的铝焊盘连接独立芯片的铝焊盘,另一端的金传输带连接电路板的金焊盘。如此可实现单个独立芯片的铝焊盘与电路板的金焊盘之间互联。进一步的,通过在金层和铝层之间设置镍阻挡层,隔绝金铝界面,减少了金铝扩散,在实现独立芯片与电路板的异种金属互联的同时,减小了金铝界面失效风险,增加了金铝互联可靠性。
IPC分类: