本发明公开了一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备，包括：基座；液体盒，设于基座，液体盒设有至少四个并用于存放化学刻蚀用的液体；驱动机构，设于基座的上端，驱动机构用于连接谐振子并带动谐振子伸入或取出液体盒；刻蚀轨迹实现机构，设于驱动机构，谐振子通过刻蚀轨迹实现机构连接于驱动机构，刻蚀轨迹实现机构用于带动谐振子在液体盒内按照预设轨迹运动；控制系统，信号连接于驱动机构与刻蚀轨迹实现机构，并用于控制驱动机构与刻蚀轨迹实现机构的开闭。本申请提供的一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备，能够在谐振子的刻蚀过程中达到精确控制谐振子的运动轨迹以及在各个液体中的停留时间及其顺序的目的。