一种电容器衬底、高容量密度电容器及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种电容器衬底、高容量密度电容器及其制造方法,涉及电容器的技术领域,包括衬底和三维异形图案,所述衬底上设置有若干个三维异形的凹槽或者立柱,在一个切割块内所述凹槽或者所述立柱呈错位排布,或者所述凹槽或者所述立柱的形心呈阵列排布,相邻的所述凹槽或者所述立柱的边缘距离不大于2倍的加工余量。本发明可在缩小电容器尺寸和厚度的情况下,利用凹槽或者立柱阵列的结合,增加了介质层的表面积,有效提高电容器的容量密度。
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