发明公开
CN117461122A 净化装置
审中-实审
- 专利标题： 净化装置
-
申请号： CN202280040909.2申请日： 2022-07-20
-
公开(公告)号： CN117461122A公开(公告)日： 2024-01-26
- 发明人: 和田快也 , 伊藤靖久 , 山路孝
- 申请人： 村田机械株式会社
- 申请人地址： 日本京都府
- 专利权人： 村田机械株式会社
- 当前专利权人： 村田机械株式会社
- 当前专利权人地址： 日本京都府
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 王玮
- 优先权： 2021-163097 2021.10.01 JP
- 国际申请： PCT/JP2022/028214 2022.07.20
- 国际公布： WO2023/053685 JA 2023.04.06
- 进入国家日期： 2023-12-07
- 主分类号： H01L21/673
- IPC分类号： H01L21/673
摘要：
本发明涉及一种净化装置。净化装置(10)具备：通过移载装置(30)移载容器(F)的载置部(8)；设置在载置部(8)的净化喷嘴(11)；以实施经由净化喷嘴(11)向载置在载置部(8)的容器(F)内供给净化气体的净化处理的方式进行控制的控制器(13)；以及在移载装置(30)使容器(F)从载置部(8)的正面侧或者里侧进入载置部(8)的正上方的情况下，检测移载装置(30)或者容器(F)向载置部(8)的正上方的进入的进入检测传感器(18、28)。控制器(13)进行控制，以便基于进入检测传感器(18、28)的检测结果，在净化处理的实施之前从净化喷嘴(8)排出净化气体。