利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

30 条记录 (耗时 0.026 秒)

    气体注入装置以及辅助构件
    1.
    发明授权
    气体注入装置以及辅助构件 有权

    公开(公告)号：CN105960704B

    公开(公告)日：2019-03-01

    申请号：CN201480074961.5

    申请日：2014-12-12

    申请人： 村田机械株式会社

    发明人： 村田正直 ,  山路孝

    IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/673

    摘要： 本发明的气体注入装置(1)具备：载置部(2)，载置有第1容器(FOUP(10A))或者第2容器；喷出部(5)，配置于载置部(2)，喷出清洗气体；密封部(7)，以包围喷出部(5)的周缘的方式从载置部(2)突出地设置。喷出部(5)在对第2容器的注入口注入清洗气体的状态下、与该注入口为非接触，密封部(7)在对FOUP(10A)的注入口(15A)注入清洗气体的状态下不妨碍喷出部(5)与注入口(15A)的接触。

    吹净装置、吹净储料器以及吹净方法
    3.
    发明授权
    吹净装置、吹净储料器以及吹净方法 有权

    公开(公告)号：CN108140598B

    公开(公告)日：2022-09-16

    申请号：CN201680049390.9

    申请日：2016-07-14

    申请人： 村田机械株式会社

    发明人： 村田正直 ,  山路孝

    IPC分类号： H01L21/673 ,  B65G1/00

    摘要： 提供能够节约吹净气体并且进行适当的吹净的吹净装置。吹净装置(4)具备：向吹净对象的容器(F)供给吹净气体(G1)的第一吹净喷嘴(41)、在开始基于第一吹净喷嘴的吹净处理前检测容器的内部状态的内部状态检测部(8)、以及基于内部状态检测部的检测结果决定相对于容器的吹净条件的吹净决定部(48)。

    测量单元及净化气体的流量测量方法
    7.
    发明公开
    测量单元及净化气体的流量测量方法 有权

    公开(公告)号：CN104937709A

    公开(公告)日：2015-09-23

    申请号：CN201480005157.1

    申请日：2014-01-30

    申请人： 村田机械株式会社

    发明人： 村田正直 ,  山路孝

    IPC分类号： H01L21/677 ,  G01F1/00

    CPC分类号： G01F1/56 ,  G01F1/28 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67769

    摘要： 本发明的测量单元测量收容了个数比平均数少的物品的容器(6)内的净化气体的流量。利用测量单元(30)测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量。测量单元(30)具备：基板(32)；配置在基板(32)的底面、与搁板座(20)的喷嘴(24)接触、用来自基板(32)的载荷与喷嘴(24)之间保持气密的同时导入净化气体的气体导入部(36)；具有测量净化气体流量的流量计(41)和电源(40)的电路部；相对于基板(32)沿上下方向位移自由、将测量单元(30)自重的一部分支承在搁板座(20)上的多个腿部(38)。

    保管系统及保管系统中的净化方法
    8.
    发明授权
    保管系统及保管系统中的净化方法 有权

    公开(公告)号：CN111052338B

    公开(公告)日：2023-06-30

    申请号：CN201880055618.4

    申请日：2018-07-19

    申请人： 村田机械株式会社

    发明人： 椿达雄 ,  山路孝

    IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G1/00 ,  B65G1/137 ,  H01L21/673

    摘要： 本发明提供的保管系统具备：设置有提供清洁气体的喷嘴的多个货架、控制清洁气体的供给量的多个流量控制部、将容器搬入及搬出货架的搬送装置、以及控制搬送装置和流量控制部的控制器。在产生预定保管的容器之前，利用控制器为保管容器做准备而事先预留至少1个货架，并且根据该预留结果从流量控制部向至少1个货架的喷嘴提供清洁气体。

    清洗堆料机以及清洗方法
    9.
    发明授权
    清洗堆料机以及清洗方法 有权

    公开(公告)号：CN107534004B

    公开(公告)日：2020-09-25

    申请号：CN201580026636.6

    申请日：2015-04-21

    申请人： 村田机械株式会社

    发明人： 大西真司 ,  村田正直 ,  山路孝

    IPC分类号： H01L21/673

    摘要： 提供能够抑制清洗气体的消耗并为简单构成的清洗堆料机以及清洗方法。清洗堆料机(1)具备：具备N台第一清洗装置(21)的第一供给单元(20)，第一清洗装置(21)具有支承保存容器(F)的第一支承部(22)、向被第一支承部(22)支承的保存容器(F)供给清洗气体的第一供给管(23)以及调节第一供给管(23)中的清洗气体的流量的第一流量调节部(24)；以及具备M台第二清洗装置(31)的第二供给单元(30)，第二清洗装置(31)具有支承保存容器(F)的第二支承部32以及向被第二支承部(32)支承的保存容器(F)供给清洗气体的第二供给管(34)，当在规定数量的第二支承部(32)支承保存容器(F)的情况下，第二供给单元(30)将清洗气体通过第二供给管(34)供给至保存容器(F)。