一种高介电逆导绝缘栅双极晶体管及其制备方法、芯片
摘要:
本申请属于功率器件技术领域,提供了一种高介电逆导绝缘栅双极晶体管及其制备方法、芯片,其中,N型漂移层的正面依次形成有空穴势垒层、P型阱区,P型阱区上形成与发射极接触的第一P型重掺杂区和第一N型重掺杂区,N型漂移层的背面形成电势截止层以及与集电极接触的N型集电区和P型集电区,多晶硅层通过栅极介质层与空穴势垒层、P型阱区、第一N型重掺杂区以及发射极隔离,通过在多晶硅层的底部形成高K介质层,可以调节N型漂移层内的电场分布,在相同的击穿电压下,漂移层内可以通过设计更高的掺杂浓度降低漂移层中的导通电阻,进而改善器件内的电压回跳现象,还可以通过高K介质层使得漂移层可以更快耗尽,降低了器件的关断损耗。
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