一种Ⅳ-Ⅵ族半导体薄膜及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种Ⅳ‑Ⅵ族半导体薄膜及其制备方法,将A溶于有机极性溶剂形成第一溶液,B溶于有机极性溶剂形成第二溶液,将第一溶液和第二溶液混合后得到前驱体溶液,或者将A和B混合后溶于有机极性溶剂中得到前驱体溶液,A为Ⅳ族化合物,B为Ⅵ族化合物;将基片放入所述前驱体溶液中,通过化学浴沉积反应过程在第一温度下进行薄膜生长,得到所需厚度的所述半导体薄膜。本发明直接将基片放在Ⅳ族化合物、Ⅵ族化合物的溶液中,在适宜温度下即可生长半导体薄膜;相比于溶液化学原位反应合成的薄膜,工艺简单、便利、可大面积制备半导体薄膜。
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