发明公开
- 专利标题: 一种Ⅳ-Ⅵ族半导体薄膜及其制备方法
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申请号: CN202311338798.6申请日: 2023-10-17
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公开(公告)号: CN117488288A公开(公告)日: 2024-02-02
- 发明人: 张建兵 , 罗浩 , 许少恒 , 李森 , 唐江 , 高亮 , 王怿恺
- 申请人: 华中科技大学 , 湖北光谷实验室
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学,湖北光谷实验室
- 当前专利权人: 华中科技大学,湖北光谷实验室
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 武汉派富知识产权代理事务所
- 代理商 章洪
- 主分类号: C23C18/12
- IPC分类号: C23C18/12
摘要:
本发明提供了一种Ⅳ‑Ⅵ族半导体薄膜及其制备方法,将A溶于有机极性溶剂形成第一溶液,B溶于有机极性溶剂形成第二溶液,将第一溶液和第二溶液混合后得到前驱体溶液,或者将A和B混合后溶于有机极性溶剂中得到前驱体溶液,A为Ⅳ族化合物,B为Ⅵ族化合物;将基片放入所述前驱体溶液中,通过化学浴沉积反应过程在第一温度下进行薄膜生长,得到所需厚度的所述半导体薄膜。本发明直接将基片放在Ⅳ族化合物、Ⅵ族化合物的溶液中,在适宜温度下即可生长半导体薄膜;相比于溶液化学原位反应合成的薄膜,工艺简单、便利、可大面积制备半导体薄膜。
IPC分类: