发明公开
- 专利标题： 一种硼扩散炉管洁净度测试方法
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申请号： CN202311452617.2申请日： 2023-11-02
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公开(公告)号： CN117497441A公开(公告)日： 2024-02-02
- 发明人: 武啟强 , 张伟 , 崔宁 , 穆晓超 , 徐国栋 , 孔青青 , 王菲 , 贾慧君
- 申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
- 申请人地址： 山西省吕梁市文水县经济开发区1号
- 专利权人： 晋能清洁能源科技股份公司,晋能光伏技术有限责任公司
- 当前专利权人： 晋能清洁能源科技股份公司,晋能光伏技术有限责任公司
- 当前专利权人地址： 山西省吕梁市文水县经济开发区1号
- 代理机构： 山西晋扬知识产权代理事务所
- 代理商 马凤娇
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66
摘要：
本发明属于太阳能电池制造技术领域，具体公开一种硼扩散炉管洁净度测试方法，该方法通过在石英舟的各个位置放置硅片进行氧化工艺，并分别测试烧结前后的洁净度参数，利用洁净度参数进行简单计算以判断硼扩散炉管的洁净度水平，以此可以缩短验证结果所需要时间，同时也减少了验证所需要的硅片数量；间接的减少了产生低效片的数量，提高生产效率，提高了电池成品的合格率，节约了生产成本。
IPC分类:
