发明公开
- 专利标题: 一种具有低漏电的IGBT及制备方法
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申请号: CN202311824666.4申请日: 2023-12-28
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公开(公告)号: CN117497578A公开(公告)日: 2024-02-02
- 发明人: 蔡文哲
- 申请人: 深圳天狼芯半导体有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区科技南路18号深圳湾科技生态园12栋裙楼904-905
- 专利权人: 深圳天狼芯半导体有限公司
- 当前专利权人: 深圳天狼芯半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区科技南路18号深圳湾科技生态园12栋裙楼904-905
- 代理机构: 深圳中创智财知识产权代理有限公司
- 代理商 唐燕洁
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L23/373 ; H01L29/06 ; H01L29/165 ; H01L21/331
摘要:
本发明提供一种具有低漏电的IGBT及制备方法,该IGBT包括:异质结衬底;所述异质结衬底包括基底和第一N+缓冲层;所述基底位于所述第一N+缓冲层下方并与所述第一N+缓冲层邻接;所述第一N+缓冲层位于漂移层与基底之间并与所述漂移层邻接。本发明将传统的硅衬底替换为了禁带宽度更高、导热性能更好的材料,例如碳化硅材料,因为第三代半导体材料碳化硅具有带隙宽、击穿场强高、热导率高、饱和电子迁移速率高、物理化学性能稳定等特性,可适用于高温,高频环境,并且本发明在碳化硅层上方引入了N型重掺杂层作为缓冲层,硅基N+掺杂层能够形成一个电子阱,从而进一步减弱衬底端的漏电现象,降低器件整体的热效应。
公开/授权文献
- CN117497578B 一种具有低漏电的IGBT及制备方法 公开/授权日:2024-05-28
IPC分类: